不同宽度的样品对测量的接触电阻率值影响较大。在下图中显示了接触电阻率和样品宽度的典型关系，当样品宽度从5mm到25mm时，测得的接触电阻率和传递长度也会随之增大。

　　下图显示了两种样品宽度(5mm和30mm)下和理想状态的模拟TLM图(即RT与接触间距)。理想情况下，在相同的输入材料属性下，如果我们将5mm的结果按1/6的倍数缩放，我们应该得到相同的TLM图。然而，如图上所示，从30 mm样品中获得的接触电阻和传递长度远远大于从5 mm样品中获得的。

　　前面介绍了不同样品宽度会影响接触电阻率。通过多次对不同的样品宽度的不同样品进行测量，还发现了在许多结果中，对于小样品宽度(5mm)，测量到的接触电阻率非常大，如下图所示。

　　得出此结果的一种可能性是激光切割在样品边缘诱导分流效应，并产生额外的分流路径。分流路径导致测量的接触电阻增加，当样品宽度变小时，这种影响变得更加明显。

　　上图显示了带和不带边缘分流的结构的接触电阻与样品宽度的关系图。我们观察到，边缘分流导致在所有样品宽度下的接触电阻测量值较高，且这种影响在越小的宽度下更为显著。

　　为了做进一步的分析，对10mm宽度的栅线进行测试，结果显示，边缘分流改变了栅线的电压分布。栅线末端的电压变化比正常情况大得多，这表明从栅线末端流过的电流更多。

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